Eliminacja zakłóceń skanowania w aparaturze technologiczno-badawczej wykorzystującej wiązkę elektronową lub jonową
Wyniki prac
Prace w ramach projektu zostały podzielone na 4 zadania:
1. Określenie wpływu zakłóceń elektromagnetycznych i akustycznych na pracę systemów technologicznych i mikroskopowych FIB, STEM, SEM.
2. Wyznaczenie korzystnych warunków prowadzenia procesów technologicznych i badań dla aparatury FIB, STEM, SEM oraz sformułowanieuniwersalnych zasad wyznaczania tych warunków.
3. Opracowanie uniwersalnych algorytmów detekcji parametrów zakłóceń oraz ich korekcji.
4. Implementacja opracowanych algorytmów dla urządzeń dostępnych wykonawcom projektu.
