Eliminacja zakłóceń skanowania w aparaturze technologiczno-badawczej wykorzystującej wiązkę elektronową lub jonową
O jakich zakłóceniach mowa?
Większość operatorów mikroskopów SEM spotkała się zapewne z charakterystycznymi deformacjami obrazów w postaci postrzępionych krawędzi podobnych do tych poniżej:
Często przyjmuje się, że zakłócenia te są spowodowane polem elektromagnetycznym pochodzacym np. od sieci zasilającej. Jest też możliwe, że ich przyczyną są drgania akustyczne (szum klimatyzatorów czy wentylatorów).