Eliminacja zakłóceń skanowania w aparaturze technologiczno-badawczej wykorzystującej wiązkę elektronową lub jonową
Kierownik projektu: dr inż. Mariusz Płuska
Instytut Technologii Elektronowej
Zakład Badań Materiałów i Struktur Półprzewodnikowych
al. Lotników 32/46 bud. V p. 216
Tel.: +48 22 548 77 64
e-mail: mpluska@ite.waw.pl